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Équipement de production microélectronique

Solutions de mesure des vibrations et asservissement des équipements de production de micro-électronique et imagerie médicale

Ajustement des asservissements de positionnement et contrôle de résonnances vibratoire des supports de masques,  supports de wafer, vibrations du sol des steppers et imageurs médicaux.

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support de masque

asservissement de position, vitesse et accélération

support de wafer

Stabilité structurelle, contrôle du positionnement asservi

Vibration du sol

Ateliers de microélectronique, imageurs médicaux

  • Instruments portables et autonomes
  • Entrées à haute sensibilité
  • Déplacement/vitesse à partir d’accéléromètres
  • Résultats 1/3 d’octave en temps réel
  • Limites affichées avec les résultats en temps réel

Solutions recommandées par OROS

Analyseur de vibrations du sol

  • Analyseur portable Teamwork OR36 16 voies
  • Module logiciel d’analyse CPB 1/n octave en temps réel
  • Filtres d’intégration simple/double en temps réel

 

Dynamique de structures et asservissement de Stepper

  • Analyseur de signaux dynamiques OR38 32 voies
  • Module logiciel d’analyse spectrale à bande fine FFT
  • Module logiciel de fonction de réponse en fréquence à bande fine XFT
  • Générateur de sinus balayé avancé pour les tests d’analyse d’asservissement

OROS avantages

Micro-électronique

Surveillance des vibrations pour les installations sensibles