微电子生产设备
用于实验室、外场和测试台架的振动噪声测试和分析解决方案
标线片载物台、编码器伺服加速度和速度微调、晶圆台、稳定性、加速度和速度控制、地板振动、微电子车间工厂、医疗扫描仪
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标线片载物台
编码器伺服加速度和速度微调
- 多通道便携式仪器
- 扫频正弦伺服系统分析与表征
- 高动态范围/高灵敏度
晶圆台
稳定性、加速度和速度控制
- 多通道便携式仪器
- 集成 EMA、OMA软件（模态解决方案）
- 高动态范围/高灵敏度
- 外力/自然激励
地板振动
微电子车间工厂，医疗扫描仪
- 便携式和自主工作分析仪
- 高灵敏度输入通道
- 通过加速度计测量位移/速度
- 实时1/ 3 倍频程结果
- 限制叠加的实时结果
